IJS Oprema

ID: 9653

Ime: Ionska litografija – FIB

Tip: Oprema za obdelovanje površin

Lastnik: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)

Odsek: CEMM

Leto nabave: 2012

Področje KET: Nanotehnologija
Napredni materiali
Mikro- in nano-elektronika

Cena za uporabo (EUR/h): 80

Skrbnik opreme: Miran Čeh

E pošta skrbnika: Miran.Ceh@ijs.si

Način najema opreme: Storitev izvaja raziskovalec IJS

Nabavna vrednost (EUR): 1018799

Opis/namembnost : FIB je tehnika, ki se uporablja v industriji polprevodnikov, pri vedah o materialih in v biologiji za različne analize, nanašanja in ionsko jedkanje s pomočjo pospešenih ionov. Dvožarkovni sistem je znanstveni instrument, ki je sestavljen iz vrstičnega elektronskega mikroskopa (SEM) za opazovanje površine vzorcev in ionskega snopa za jedkanje oziroma rezanje. Instrument se uporablja za izdelovanje različnih oblik in vzorcev na nanometerskem področju, za pripravo vzorcev za presevno elektronsko mikroskopijo (TEM), 3D tomografijo in nanašanje prevodnih oziroma neprevodnih tankih plasti s pomočjo ionskega snopa.

Inventarna številka IJS: