IJS Oprema

ID: 9785

Ime: ProtoLaser LDI

Tip: Laserji

Lastnik: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)

Odsek: F7

Leto nabave: 2011

Področje KET: Nanotehnologija
Napredni materiali

Cena za uporabo (EUR/h): 60

Skrbnik opreme: Damjan Svetin

E pošta skrbnika: Damjan.Svetin@ijs.si

Način najema opreme: Storitev izvaja raziskovalec IJS

Nabavna vrednost (EUR): 192203

Opis/namembnost : Platforma na osnovi kontinualnega UV laserja, 2D akusto-optičnih deflektorjev in visoko-natančne xy mize v prvi fazi omogoča neposredno optično nanolitografijo z ločljivostjo 1µm na področju 10x10cm. Zasnova platforme omogoča relativno preprosto nadgradnjo na ONL z uporabo imerzijskega objektiva in s tem povečanje ločljivosti na 200 nm. Z uporabo dveh laserskih virov različnih valovnih dolžin in večjo adaptacijo platforme je moč doseči ločljivost postopka na rangu 50 nm.

Inventarna številka IJS: