IJS Oprema

ID: 9729

Ime: Sistem za čiščenje substratov

Tip: Oprema za obdelovanje površin

Lastnik: Institut "Jožef Stefan"

Odsek: F5

Leto nabave: 2007

Področje KET: Nanotehnologija
Napredni materiali

Cena za uporabo (EUR/h): 43.79

Skrbnik opreme: Igor Muševič

E pošta skrbnika: Igor.Musevic@ijs.si

Način najema opreme: Storitev izvaja raziskovalec IJS

Nabavna vrednost (EUR): 115000

Opis/namembnost : Oprema omogoča pripravo ultračistih površin za nanos tankih prevlek mehkih in trdnih snovi, predvsem tekočih kristalov.

Inventarna številka IJS: