IJS Oprema
ID: 9867
Ime: Sistem za pulzno lasersko depozicijo PLD z elementarno karakterizacijo in spremljajočo opremo
Tip: Oprema za obdelovanje površin
Lastnik: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)
Odsek: K9
Leto nabave: 2012
Področje KET: Nanotehnologija
Napredni materiali
Cena za uporabo (EUR/h): 60
Skrbnik opreme: Matjaž Spreitzer
E pošta skrbnika: Matjaz.Spreitzer@ijs.si
Način najema opreme: Storitev izvaja raziskovalec IJS
Nabavna vrednost (EUR): 912436
Opis/namembnost : Pulzno lasersko nanašanje je tehnika za pripravo tankih plasti pretežno anorganske narave. Dobavljen sistem je namenjen za rast »plast-po-plasti« in tako omogoča pripravo visoko-kvalitetnih tankih plasti in strukturiranje na nanoskopskem nivoju. Sistem je opremljen z več komponentami.
Za odstranjevanje materiala iz tarče uporabljamo KrF ekscimerni laser z energijo do 700 mJ na pulz in najvišjo hitrost pulzev 50 Hz. Za nastavitev energije laserja uporabljamo atenuator, za njegovo diagnosticiranje pa ustrezno kamero.
Inventarna številka IJS: