IJS Oprema

ID: 9774

Ime: Elipsometer

Tip: Fizikalno-kemijske analize

Lastnik: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)

Odsek: F7

Leto nabave: 2011

Področje KET: Nanotehnologija
Napredni materiali

Cena za uporabo (EUR/h): 60

Skrbnik opreme: Dragan Mihailović

E pošta skrbnika: dragan.mihailovic@ijs.si

Način najema opreme: Storitev izvaja raziskovalec IJS

Nabavna vrednost (EUR): 225096

Opis/namembnost : Optična elipsometrija je nedestruktivna tehnika, ki se uporablja za raziskave površin, mejnih plasti in tankih filmov. Osnovni princip elipsometrije je merjenje sprememb polarizacije svetlobnega žarka, ki se odbije od vzorca. Odbito svetlobo zajemamo s pomočjo mikroskopskih objektivov, kar v kombinaciji s prostorsko razločeno detekcijo signala (slikanje) zmanjša velikost preiskovane površine na območje mikrometrov. Objektivi imajo ekstremno dolgo delovno razdaljo, kar omogoča analizo površin makroskopskih objektov. Dobimo povečano sliko vzorca v odbiti svetlobi po prehodu skozi set polarizacijskih optičnih elementov. Sliko zajemamo s pomočjo CCD kamere z nastavljivimi časi zaklopa in ojačanja intenzitete. Lateralna ločljivost sistema je 1 μm, kar omogoča izvajanje elipsometričnih meritev na mikrostrukturiranih  vzorcih. Možna je sprotna analiza večih izbranih območij hkrati.

Inventarna številka IJS: