Sistem za pulzno lasersko depozicijo PLD z elementarno karakterizacijo in spremljajočo opremo | Center za prenos tehnologij in inovacij na Institutu "Jožef Stefan"

IJS Oprema

ID: 9867

Ime: Sistem za pulzno lasersko depozicijo PLD z elementarno karakterizacijo in spremljajočo opremo

Tip: Oprema za obdelovanje površin

Lastnik: Center odličnosti nanoznanosti in nanotehnologije (CO NIN)

Odsek: K9

Leto nabave: 2012

Področje KET: Nanotehnologija
Napredni materiali

Cena za uporabo (EUR/h): 60,00

Skrbnik opreme: Matjaž Spreitzer

E pošta skrbnika: Matjaz.Spreitzer@ijs.si

Način najema opreme: Storitev izvaja raziskovalec IJS

Nabavna vrednost (EUR): 912 436,00

Opis/namembnost : Pulzno lasersko nanašanje je tehnika za pripravo tankih plasti pretežno anorganske narave. Dobavljen sistem je namenjen za rast »plast-po-plasti« in tako omogoča pripravo visoko-kvalitetnih tankih plasti in strukturiranje na nanoskopskem nivoju. Sistem je opremljen z več komponentami. Za odstranjevanje materiala iz tarče uporabljamo KrF ekscimerni laser z energijo do 700 mJ na pulz in najvišjo hitrost pulzev 50 Hz. Za nastavitev energije laserja uporabljamo atenuator, za njegovo diagnosticiranje pa ustrezno kamero.

Inventarna številka IJS:

The sidebar you added has no widgets. Please add some from theWidgets Page